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ASML首臺全新極紫外光刻機已交貨

2021-07-22 12:22:31

字體：大中小

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供稿：網友

武林網21日訊，ASML方面表示，EUV (極紫外光) 光刻業務: 第一臺NXE:3600D已出貨給客戶。相較于前一代產品，NXE:3600D的生產力提高15%到20%，且套刻精度(overlay)也提高 30%。ASML正增加EUV在存儲產業的量產應用，并將計劃協助三個 DRAM 客戶實現在未來的制程節點中導入EUV。

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